بافتراض أنه لا توجد عوامل مؤثرة جانبية فإنه من المتوقع أن تكون الشدة I_A لخط الأشعة الفلورية من عنصر ما (A) في العينة متناسبة مع النسبة الذرية لهذا العنصر ولكن حيث إن هذا غير حادث بالفعل فإن شدة الأشعة الفلورية يمكن أن تبتعد كثيرا عن التناسب مع الكمية الموجودة، وشكل (12-6) يوضح ثلاثة مخاليط مختلفة تحتوي على الحديد حيث يتضح أن شدة الأشعة الفلورية من عنصر ما تعتمد على العناصر الأخرى الموجودة بالعينة، وهذا يكون نتيجة لعاملين مؤثرين هما:

1- الامتصاص بواسطة الوسط: Matrix Absorption

يتغير معامل امتصاص العينة بتغير مكوناتها؛ لذلك فإن التغير الحادث في الامتصاص سواء للأشعة الأولية أو للأشعة الفلورية يتوقف على مكونات العينة التي سيمران من خلالها.

ومن الصعب حساب امتصاص الأشعة الأولية لأن جزءاً من هذه الأشعة يستنفد في انبعاث الأشعة الفلورية _αK كما أن هذه الأشعة الساقطة تحتوي على مدى واسع من أطوال الأمواج التي يكون لها شدة متفاوتة وامتصاص مختلف عن بعضه البعض، أما معامل امتصاص الأشعة الفلورية الذي يكون له طول موجة محدد فإنه يكون معتمدا على معامل امتصاص العينة لطول الموجة المحدد، ويوضح شكل (12-6) تأثير معامل الامتصاص على المنحنيات حيث يتضح أن معامل امتصاص السبيكة Fe - Al يكون أقل من السبيكة Fe - Ag المحتوية على نفس النسبة من الحديد وتكون النتيجة هي أن شدة الأشعة الفلورية _αFe K خارج العينة أكبر في حالة السبيكة Fe - Al.

شكل (12-6)

2- تعدد الإثارة Multiple Excitation

إذا كانت الأشعة الأولية يمكنها أن تثير الذرات للعنصر B ليشع الأشعة المميزة له λ_B وإذا كانت λ_B أقل من λ_KA فإن الأشعة الفلورية من العنصر A يمكن أن تشع ليس فقط من الأشعة الساقطة ولكن أيضا من الأشعة الفلورية الصادرة من العنصر B وهذا يبدو واضحا في الشكل (12-6) فأشعة النيكل _αNi K يمكنها أن تثير الذرات لتشع _αFe K وتكون النتيجة أن شدة الأشعة المشاهدة عمليا _αFe K من السبيكة Fe - Ni أقرب إلى تلك الصادرة من السبيكة Fe - Al التي لها نفس النسبة من الحديد بدرجة أكبر من المتوقع عند مقارنة معامل الامتصاص للسبيكتين، وفي حالة السبيكة Fe - Ag تكون الشدة المشاهدة عمليا للأشعة _αFe K أقل كثيرا بالرغم من أن الشعاع _αAg K يمكنه أن يثير الأشعة الفلورية _αFe K وذلك نتيجة الامتصاص الكبير في العينة.

هذه المؤثرات تجعل حساب شدة الأشعة الفلورية معقدة مما جعل التحليل الكمي يُجرى على أسس تجريبية أي باستخدام عينات عيارية معروفة المكونات والعينات العيارية المعلوم مكوناتها يمكن الحصول عليها من المكتب القومي للعياريات National Bureau of Standards أو مصادر تجارية أخرى.

توجد ثلاث طرق تستخدم في التحليل الكمي وهي منحنيات المعايرة Calibration Curves والمعاملات التجريبية Empirical Coefficients والمتغيرات الاساسية Fundamental Parameters.

أما بالنسبة لتحضير العينة Sample Preparation فيجب الأخذ في الاعتبار أن طبيعة سطح العينة ودرجة خشونته roughness قد تؤثر على شدة الأشعة؛ ولذلك تحضر العينات الصلبة بعد طحنها حيث تكبس بعد خلطها في حامل مخصص لذلك، ويجب الاعتناء بعملية الخلط لأن التحليل يكون لطبقة رقيقة من السطح التي يجب أن تمثل العينة كلها، أما العينات السائلة فتوضع في خلايا مخصصة لذلك.