تم الإبلاغ عن الترسب لأول مرة وحصوله على براءة اختراع في أواخر القرن التاسع عشر واستخدم في تحضير ألياف الكربون كخيوط ومسحوق الكربون لصبغة اللون في المصباح الكهربائي. في طريقة الترسيب هذه، يتم ترسيب غشاء رقيق من المادة المستهدفة على سطح من خلال التفاعل الكيميائي لجزيء غازي يحتوي على ذرات مفيدة لتشكيل الغشاء. يتم إطلاق المادة المستهدفة في شكل جزيء متطاير وتعمل كسلعة ثم تحدث سلسلة من التفاعلات الكيميائية بين جزء السلائف والسلف وسطح الركيزة لإنتاج غشاء رقيق. تنتج الأغشية الرقيقة المترسبة للطبقة الذرية (ALD) بشكل عام عن طريق التفاعل الكيميائي السطحي في هذه الطريقة ويمكن تحقيق ترسيب المادة المستهدفة من خلال (1) ترسيب البخار الكيميائي النشط حرارياً (TACVD (2) ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما (PECVD) و (3) بدأت الصورة في ترسيب البخار الكيميائي (PICVD). ترسيب البخار الكيميائي المنشط حرارياً غير مناسب للركائز الحساسة لدرجات الحرارة مثل البوليمرات. تقنية ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما لها مشكلة في التوسع بسبب متطلبات التشغيل المحددة. تتضمن الطرق التي تم بدؤها بالصور كصورة بدأت في ترسيب البخار الكيميائي معالجة منخفضة الطاقة وطيفًا واسعًا من التباين المحتمل. بالإضافة إلى ذلك، لا تتطلب العملية التي تبدأ بالصور معدات متخصصة في ظروف الضغط ودرجة الحرارة المحيطة لتفاعل الغازات يستخدم تردد الراديو تردد) التيار المتردد) الموجات الدقيقة والاقتران الاستقرائي (التيار الكهربائي) التيار الكهربائي المستحث الكهرومغناطيسي أيضا في هذه التقنية. يمكن أن تكون فعالة نسبيًا في درجات حرارة منخفضة لذا فهي مفيدة للتطبيق الصناعي على نطاق واسع وفي تصنيع الهياكل النانوية للجرافين والأنابيب النانوية.

الشكل (9.2) طريقة ترسيب البخار الكيميائي

مزايا

- يمكن التحكم في خصائص الجسيمات للبنى النانوية مثل التشكل السطحي والبنية البلورية.

 2- تُظهر طريقة الطلاء بالبخار الكيميائي متانة عالية للفيلم

3- هذه الطريقة سهلة التوسع.

4- ينتج جسيمات نانوية من التحكم في تشكيل السطح.

سلبيات

1- فرص المخاطر الكيميائية بسبب الغازات السامة، المسببة للتآكل والمتفجرة

 2- يصعب ترسيب المواد متعددة المكونات

التطبيقات

1- الطريقة المفضلة لإعداد مادة SO nanorod الحساسة للغاز باستخدام ترسيب البخار الكيميائي بمساعدة الهباء الجوي.

2- تحضير مسحوق زركونيا الألومينا النانوي.

3- يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي لمساحة كبيرة من الجرافين أحادي الطبقة على معدن مثل النحاس باستخدام هذه التقنية ولها تطبيقات صناعية واسعة.