أمكن تحقيق التقدم في تقانة البنى الهجينة كنتيجة للتطور في تقنيات التصنيع. تلخص في الجدول 1 بعض الخطوات الهامة المستخدمة حالياً في تنمية البنى الهجينة، وتوصيفها، ومعالجتها. جرى اختراع تقنية تنمية الشعاع الجزيئي وتطويره واستخدامه لتصنيع الطبقات والشبكات الذرية بالغة الدقة وعالية النوعية ، وكان ذلك في فترة السبعينيات والثمانينيات. وجرى استخدام تقانات المجهر الإلكتروني وأشعة-X لتوصيف مثالية البنى بما في ذلك عدم انتظام السطح الفاصل. وخلال هذه الفترة، استخدمت طرق الطبع الضوئي والحفر التي تناسب العناصر في السلم الميكروي والنانوي. جرى تطوير تقنيات جديدة لتنمية الطبقات في الثمانينيات وما بعدها تتضمن هذه التقنيات التنمية المعدنية العضوية في الحالة البخارية و تنمية الشعاع الجزيئي المعدنية العضوية وغيرها. جعلت هذه الاختراعات تصنيع الطبقات بدقة بمستوى الذرة أمراً ممكناً. تحسنت طرق الطبع الضوئي والحفر لدرجة يمكن معها استخدامها في صنع البنى في السلم النانوي. وبات من الممكن تحقيق تطعيم بالشوائب متغير مكانياً - بما فيه إشابة  أي إشابة طبقة أو بضع طبقات ذرية.

تمثل هذه المقاربات لتصنيع البني النانوية وعناصر الإلكترونيات النانوية تحسينات تطويرية في طرق التنمية والمعالجة التي سبق وطبقت في الإلكترونيات الدقيقة. تسمح التطورات في التقانة النانوية من حيث المبدأ باستخدام طرق ومفاهيم مجالات أخرى في العلوم والهندسة تمتلك الكيمياء التركيبية وحتى علم الأحياء الكثير لتعملي للتقانات النانوية البازغة ويمكن استثمار بعض المفاهيم القادمة من هذه المجالات لتركيب المواد والأدوات النانوية. وهذه تتضمن الطرق الكيميائية والحيوية لتنمية الأغراض في السلم النانوي كانابيب الكربون النانوية والجزيئات الحيوية)، والنمذجة السطحية النانوية، وتجهيز البنى النانوية المسبقة التحضير بخواص مبرمجة تركيبباً من مركبات لا عضوية معروفة بمساعدة جزيئات DNA للتوصيل، ... إلخ. 

تلخص في الجدول 1 بعض الخطوات الهامة المستخدمة حالياً في تنمية البنى الهجينة.